作为一种新型的气体污染物处理技术，低温等离子工业废气处理设备及技术是集物理、化学、环境科学于一体的交叉集成电子化学技术。由于污染物分子易于高效分解，处理能耗低，是国内外空气污染控制有前途、有效的技术方法。
低温等离子工业废气处理设备及技术具有广泛的应用和推广前景，为VOC有机废气和恶臭气体在工业领域的治理开辟了新的思路。
1、主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，端子放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚合物材料，其高能电子立即穿透空气和排气分子，产生高浓度、高强度、高能量活动。
当与机器废气中的分子发生碰撞时，碱与各种电子和离子发生了一系列的物理和化学反应，产生了各种活性自由基和生态氧，即原子氧产生的臭氧分解。
2、活性自由基能有效破坏各种病毒和细菌中的核酸和蛋白质，使其无法正常代谢和生物合成，导致其死亡;生态氧能在血浆中迅速含有大量有机废气分子。
高能电子、正离子和负离子、刺激态粒子和氧化性强的后自由基。这些活性自由基和氧化性强的O3可以与有害气体分子发生化学反应，产生无害产物。
